강상우 한국표준과학연구원 책임연구원./사진제공=한국표준과학연구원

반도체·디스플레이 생산 공정에 사용되는 나노미터(㎚, 10억분의 1ｍ) 크기 입자의 오염 여부를 실시간으로 진단할 수 있는 기술이 상용화됐다./사진제공=한국표준과학연구원