나노종기원, 반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품 국산화
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나노종합기술원이 코리아스펙트랄 프로 덕츠‘KSP’와 공동연구를 통해 상용화한 광진단 센서. 사진제공=나노종합기술원
나노종합기술원이 코리아스펙트랄 프로 덕츠‘KSP’와 공동연구를 통해 상용화한 광진단 센서. 사진제공=나노종합기술원
나노종합기술원이 코리아스펙트랄 프로 덕츠‘KSP’와 공동연구를 통해 상용화한 광진단 센서. 사진제공=나노종합기술원
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