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![[이달의 과학기술인상]AI 머신러닝으로 반도체 공정속도·해상도 UP](https://newsimg.sedaily.com/2023/10/04/29VTUKFR9L_13.png)
신영수(오른쪽) KAIST 전기및전자공학부 석좌교수가 연구팀원들과 반도체 포토리소그래피에 관해 의견을 나누고 있다. 사진 제공=한국연구재단
![[이달의 과학기술인상]AI 머신러닝으로 반도체 공정속도·해상도 UP](https://newsimg.sedaily.com/2023/10/04/29VTUKFR9L_14.png)
AI 기계학습을 활용한 고속·고해상도 반도체 리소그래피 최적화 기술.
![[이달의 과학기술인상]AI 머신러닝으로 반도체 공정속도·해상도 UP](https://newsimg.sedaily.com/2023/10/04/29VTUKFR9L_15.png)
신영수(둘째 줄 가운데) KAIST 전기및전자공학부 석좌교수가 연구팀과 함께 기념 촬영을 하고 있다. 사진 제공=한국연구재단
신영수(오른쪽) KAIST 전기및전자공학부 석좌교수가 연구팀원들과 반도체 포토리소그래피에 관해 의견을 나누고 있다. 사진 제공=한국연구재단
AI 기계학습을 활용한 고속·고해상도 반도체 리소그래피 최적화 기술.
신영수(둘째 줄 가운데) KAIST 전기및전자공학부 석좌교수가 연구팀과 함께 기념 촬영을 하고 있다. 사진 제공=한국연구재단