세메스, 고온 매엽인산 반도체 세정 장비 '블루아이스 프라임' 개발
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세메스의 고온 매엽인산 세정장비 ‘블루아이스 프라임’. 사진제공=세메스
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세메스의 고온 매엽인산 세정장비 ‘블루아이스 프라임’. 사진제공=세메스