삼성, 차세대 D램에 '드라이 레지스트' 적용 검토 [biz-플러스]

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삼성, 차세대 D램에 '드라이 레지스트' 적용 검토 [biz-플러스] 삼성전자의 10나노급 5세대 D램. 사진 제공=삼성전자
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