한국기계연구원 반도체장비연구센터 송준엽 연구위원 연구팀이 개발한 대면적 사각형 패널과 기존의 원형 웨이퍼를 비교하여 들고 있다. 왼쪽부터 오승진 선임연구원, 이재학 책임연구원, 송준엽 연구위원, 박아영 선임연구원, 문현규 선임연구원, 한성흠 책임연구원. 사진제공=한국기계연구원