美 제재 보란 듯…中 “ASML보다 출력 4배 EUV 기술 개발”
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중국 화웨이가 자체개발했다고 밝힌 EUV 노광기 .사진=화웨이 홈페이지
중국과학원, 장장 연구소의 반도체 EUV 관련 논문. 자료출처=중국과학원, 장장연구소.
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중국 화웨이가 자체개발했다고 밝힌 EUV 노광기 .사진=화웨이 홈페이지
중국과학원, 장장 연구소의 반도체 EUV 관련 논문. 자료출처=중국과학원, 장장연구소.