인하대 이진균 교수 연구팀과 삼성전자 반도체연구소 최진 마스터 연구팀, 서울시립대 신소재공학과 연구팀. 사진제공=인하대

인하대·삼성전자·서울시립대가 개발한 하이-NA EUV 포토레지스트 콘셉트. 사진제공=인하대