반도체 연마제 특허 출원 활발…'소재 국산화 속도'
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국내 주요 기업의 반도체 연마제 관련 특허 출원 현황. /특허청
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국내 주요 기업의 반도체 연마제 관련 특허 출원 현황. /특허청