세메스, 반도체 건식 세정장비 ‘퓨리타스’ 개발…'3D D램·GAA 수요 대응'

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세메스, 반도체 건식 세정장비 ‘퓨리타스’ 개발…'3D D램·GAA 수요 대응' 세메스 PURITAS 플라즈마 건식 세정장비. 사진제공=세메스
세메스, 반도체 건식 세정장비 ‘퓨리타스’ 개발…'3D D램·GAA 수요 대응'

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