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산업자원부와 생산기술연구원은 4일 차세대 첨단기술 개발을 위한 연구 인프라인 광주 나노기술 집적센터가 이날 문을 열고 서비스를 시작한다고 밝혔다. 이번에 문을 여는 광주센터는 반도체ㆍ디스플레이 분야에 필요한 나노 장비와 공정을 집중적으로 개발하고 이를 산업화하는 방안을 지원하는 역할을 수행한다. 일단 첫번째 사업으로 2개 장비제조업체와 함께 차세대 태양전지 제작을 위한 증착장비인 화학기상 성장법(CVD) 장비 및 광부품 제작을 위한 붕소 인 실리케이트 글라스(BPSG)용 CVD 공정 개발을 추진할 계획이다. 광주 나노센터는 오는 2015년까지 현재 20% 수준인 반도체 장비 국산화율을 50%까지 끌어올리는 정책과 관련, 국산 장비에 대한 기초 성능평가와 인증, 표준화 사업 등도 맡는다.
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