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한국표준과학연구원(KRISSㆍ원장 김명수)은 1월 '이달의 KRISS인상' 수상자로 산업측정표준본부 진공센터의 김정형(43) 박사를 선정했다고 8일 밝혔다. 김 박사는 플라스마 진공공정 중 식각 장비에 사용되는 공정플라스마 전자밀도의 절대값을 측정할 수 있는 기술을 세계 최초로 개발하는 데 성공했다. 이 기술은 쌍둥이 장비일지라도 같은 공정 조건에서 다른 공정 결과를 보이는 현상을 파악할 수 있으며(chamber matching) 장비의 공정 수행 중 공정 이상변화를 실시간으로 파악할 수 있어 생산 손실을 줄이고 수익성을 크게 향상시킬 수 있다.
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