반도체 기업 네덜란드의 ASML과 대만의 TSMC는 중국이 대만에 침공할 경우 최첨단 반도체 제조 장비를 비활성화할 수 있는 방법을 보유하고 있다고 블룸버그통신이 소식통을 인용해 21일(현지시간) 보도했다.
보도에 따르면 미국 정부는 네덜란드 정부와 대만 정부 측 인사에 중국이 대만을 침공하는 상황을 우려하고 있다는 의사를 전달했다. 대만은 세계 최대의 반도체 제조 설비가 밀집해 있는 곳이다. 이에 네덜란드 측은 ASML이 원격으로 반도체 설비를 비활성화할 수 있다고 전달해 관계자들을 안심시켰다는 것이 보도의 핵심이다. 이 과정에서 네덜란드는 관련 시뮬레이션도 실행했다고 블룸버그는 덧붙였다.
원격 차단은 극자외선(EUV) 노광장비 라인에 적용되는 방식이다. EUV 장비는 정기적인 유지보수와 업데이트 등이 필요한데 ASML은 킬 스위치 역할을 하는 전원을 원격으로 강제 차단할 수 있다. EUV는 ASML의 예비 부품이 없으면 제대로 작동되지 않으며 이에 빈번한 유지 관리가 필요한 것으로 알려진다. EUV의 현장 유지 관리는 엔지니어가 오염을 방지하기 위해 특수 복장을 착용해야 하며 현장 유지보수는 까다로운 과정을 거치는 것으로 전해진다.
ASML의 EUV 노광장비는 대당 2억 유로 이상에 판매되며 현재 미국의 요청으로 중국 판매는 금지돼있다. ASML은 2016년 처음 개발한 이 장비중 200대 이상을 중국 이외 고객에게 판매했으며 TSMC가 가장 많이 보유하고 있다.
한편 TSMC의 류더인 회장은 지난해 CNN과 인터뷰를 통해 “중국이 대만을 침략하면 TSMC 공장의 칩 제조설비가 고장난 것을 발견할 것”이라며 “누구도 강제로 통제할 수 없다”고 말한 바 있다.
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