2차전지용 X-ray(CT) 검사장비 전문기업 ㈜이노메트리(대표 이갑수)가 지난 16일 서울 포스코타워 역삼 이벤트홀에서 개최된 ‘전자신문 테크데이: 유리기판의 모든 것’ 컨퍼런스에 참가해 유리기판용 비파괴검사 솔루션을 소개했다고 밝혔다.
이번 행사에는 삼성전기, 코닝 등 차세대 반도체 유리기판 개발 경쟁의 최전선에 있는 업체들을 비롯하여 각 공정별 키플레이어들이 강연자로 참석했다. 이갑수 이노메트리 대표는 검사장비 부문 대표 기업으로 발표에 나서 X-ray(CT)를 이용해 TGV(Through Glass Via) 공정의 미세 결함을 확인하는 기술에 대해 설명했다.
이 대표는 “TGV 공정이 끝난 뒤 미도금, 미충진, 기공생성 등 다양한 불량을 정밀하게 검출하는 인라인 전수검사 장비에 대한 기술검토를 완료한 상태이고, 추후 크랙, 회로 빌드업 등 추가검사에 대한 연구도 진행 중”이라며 “보안 상 상세히 밝힐 수 없으나 주요 고객사들과 유리기판 조기 상용화를 위한 협업 및 기술제휴를 지속하고 있다.”고 밝혔다.
이노메트리는 2차전지 내부를 X-ray(CT)로 촬영, 분석하여 제조 공정 상의 불량을 찾아내는 비파괴 검사장비를 만든다. 국내 배터리 3사 양산라인에 모두 공급하는 시장 선도기업이다. 최근에는 자사의 비파괴검사 솔루션을 전자, 반도체 부문으로 확장하고자 준비 중이다.
특히, 반도체 유리기판 사업은 이노메트리 장비의 장점이 극대화될 수 있는 분야다. 유리에 미세 구멍을 뚫고 속을 구리로 채워 배선을 만드는 TGV 공정에서는 마이크로미터(μm) 단위의 작은 불량도 반도체 성능에 치명적이기 때문이다. 좁은 면적에 많은 미세부품을 적층해 만드는 유리기판 반도체에서 X-ray(CT)를 이용해 보이지 않는 내부를 정밀하게 확인하는 절차는 필수다.
한편, 이갑수 대표는 “2차전지 사업 부문에 있어서는 지난 해 지연되었던 주요 고객사들의 발주 재개와 LFP, ESS, 46파이 등 전략모델 대응, 중국향 수주 확대 등으로 올 2분기부터 실적회복이 두드러질 전망”이라며 “주력사업에서의 지배력을 강화하는 동시에 반도체, 전자기기 등 신규사업 경쟁력 강화에도 전력을 다할 것”이라 전했다.
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