반도체 박막 소재, 기판 낭비없이 검사 가능해진다

표준연, 반도체·OLED 증착용 소재 물성측정기술 개발…마에스텍에 기술이전

KRISS 윤주영 책임연구원이 박막 증착용 소재의 특성(열물성)을 측정하고 있다. 사진제공=한국표준과학연구원

국내 연구진이 반도체나 OLED의 박막으로 사용하는 소재에 대해 기판에 증착하지 않고 검사할 수 있는 기술을 개발했다.

한국표준과학연구원(KRISS)은 소재에너지융합측정센터 윤주영 책임연구원 연구진이 반도체/OLED 공정에서 증착과정없이 박막 소재만 단독으로 평가하는 물성측정기술을 개발하는데 성공했다고 31일 밝혔다.

연구진은 진공 고온 환경에서 장기간 유기물질을 측정할 수 있는 독자적인 시스템을 개발했고 물질이 내부 파이프에 달라붙어 측정을 방해하는 탈기체 문제를 해결함으로써 완벽한 ‘선검사 후증착’ 방법을 최초로 제시했다.

이번에 개발한 물성측정기술을 이용하면 진공환경에서 소재물질의 증기압, 상태 변화 지점, 열·화학적 안정성, 증기 조성비와 같은 다양한 물성을 정확히 측정할 수 있다. 소재 물질을 평가하기 위해 거쳤던 번거로운 증착-측정과정이 증착에 소요된 기판, 인력, 시간 등의 낭비없이 소재 먼저 단독 측정할 수 있게 된다.



KRISS는 지난해 12월 반도체 장비부품 전문기업인 마에스텍과 해당 장비 제작기술에 대한 기술이전 계약을 체결했다.

KRISS 윤주영 책임연구원은 “이번에 개발한 원천기술은 십수년간 국내 60개 이상 업체에 기술지원을 제공하며 축적한 노하우가 담겨 있다”며 “이 측정기술은 제품의 신뢰성 및 생산성을 크게 향상시켜 현재 수입의존도가 높은 반도체 및 OLED 박막용 소재의 국산화에 기여할 수 있을 것”이라고 말했다.

/대전=박희윤기자 [e-mail]