영우디에스피는 최근 차세대 디스플레이 관련 기판 흡착장치 및 이를 이용한 기판흡착방법, 기판 정렬장치 등 특허 2건을 출원했다고 25일 밝혔다. 이번 특허는 디스플레이패널 검사시 기판의 흡착과 정렬을 더욱 정밀하게 해 검사의 정확성과 편의성을 높인 것이 특징이다.
기판 흡착시 필수적으로 요구되는 강한 압력은 기판에 미세한 휨을 발생시키는데 이는 소형 또는 휘지 않는(Rigid) 디스플레이 패널보다는 대형 또는 휘는 차세대 디스플레이 패널에서 더 심하게 나타난다. 영우디에스피가 특허 출원한 흡착장치는 기판 전체를 동시에 흡착하는 일반적인 방식대비 휨 발생을 최소화하여 높은 평면도를 유지하는 것이 핵심이다.
영우디에스피는 흡착이 된 상태에서도 기판을 다시 정렬할 수 있는 장치를 고안해 흡착 후 이송 시 진동 등으로 인해 기판의 위치가 틀어질 수 있는 가능성도 원천 차단했다. 영우디에스피의 이들 장치는 중형 이상의 차세대 디스플레이 뿐만 아니라 기존 디스플레이 패널 검사에도 적용이 가능하다. 이를 통해 검사의 정확성 및 장비의 신뢰성을 한층 더 끌어올릴 수 있게 됐다는 것이 회사 측의 설명이다.
한편 영우디에스피는 이미 출원한 ‘디스플레이 패널의 검사장치’ 등 4건의 특허를 포함, 최근 6건의 특허를 출원했다.
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