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주성엔지니어링, 고주파 전원공급장치 특허 취득
입력2010-07-15 16:25:02
수정
2010.07.15 16:25:02
이재유 기자
주성엔지니어링은 고주파 전원공급장치에 관한 특허를 취득했다고 15일 공시했다.
회사 관계자는 “이번 특허는 전력을 안정적으로 공급하여 균일한 플라즈마를 발생시키는 장치에 대한 것으로 반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
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