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테스, 웨이퍼 블레이드 특허 취득
입력2010-09-07 14:20:25
수정
2010.09.07 14:20:25
테스는 7일 웨이퍼 블레이드에 관한 특허를 취득했다고 공시했다.
테스 관계자는 "웨이퍼를 그립하여 이송하는 기본적인 기능과 함께 웨이퍼를 이미 설정된 방향으로 정렬하는 얼라인 기능을 수행할 수 있어 공정효율이 증대된다"고 설명했다.
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