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주성엔지니어링(036930)이 미국 뉴욕주립대 나노스케일 과학·공학대(CNSE) 내 올버니 나노텍 캠퍼스에 최첨단 반도체 장비를 공급한다.
주성엔니지어링은 23일 뉴욕 주가 차세대 반도체 개발 주도권을 확보하기 위해 집중 육성하고 있는 올버니 나노텍 캠퍼스에 웨이퍼 식각장비와 시공간 분할 플라즈마 화학증착장비가 통합된 반도체 장비를 공급하기로 했다고 밝혔다.
주성의 식각장비(모델명 Genaon Plus)는 신소재 금속층을 제거하는 장비로 최근 효율성 개선이 중점 목표인 반도체 제조 공정에서 많이 쓰인다.
주성은 장비 공급과 함께 최첨단 기술 요구 기준(Nodes)에 맞는 혁신적인 식각 및 봉지 기술을 개발하기 위해 CNSE 및 글로벌 파트너들과의 협력도 강화하기로 했다.
마이클 리어 CNSE 혁신 기술 담당 부사장은 “주성엔지니어링은 반도체 산업에서 유명한 회사”라면서 “이번 협력으로 양자간의 상호 시너지 효과를 기대한다”고 말했다.
황철주 주성엔지니어링 대표는 “주성이 공급하는 장비는 세계 최초로 차세대 반도체의 새로운 금속물질을 식각하는 공정에서 식각 및 증착을 위한 완벽한 솔루션을 제공하고 있다”면서 “당사와 CNSE의 협업은 전 세계 반도체 업체들에게 큰 영향을 미칠 것”이라고 강조했다. 이어 “올버니 나노텍 캠퍼스에서 사용 중인 동급 최강의 장비 및 공정과 결합해 세계 반도체 산업의 혁신을 추진함과 동시에 차세대 반도체 장비 기술 시장 또한 강화해 나갈 것”이라고 덧붙였다.
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