두산기계 반도체장비사업 진출/지니텍과 기술제휴 내년시판 계획

두산기계(대표 정재식)가 반도체 제조장비 사업에 진출한다.두산기계는 30일 벤처기업인 지니텍과 반도체 제조장비 개발에 관한 협력조인식을 갖고 반도체 제조장비(FAB) 사업에 진출키로 했다고 밝혔다.

이번 조인식에서 FAB 관련 기술과 특허를 보유하고 있는 지니텍은 핵심기술을 제공하고 두산은 자금과 반도체 제조장비의 생산을 전담키로 했다.

두산은 이를 통해 올 연말까지 경기 병점공장에서 2백56MB 반도체를 생산할 수 있는 웨이퍼 평탄장치 CMP(Chemical Mechanical Polishing)와 증착장치인 PS­CVD(Pulsed Source Chemical Vapor Deposition)를 개발, 내년부터 시판할 예정이다. 또 오는 2000년까지 기존 설비에 추가로 50억원을 투자해 연간 15대의 장비를 생산할 수 있는 체제를 구축하고 연 2백억원 이상의 매출을 올리기로 했다.

아울러 두산은 반도체 제조장비의 기술력을 높이기 위해 학계, 국내외 연구기관, 정부 관련 부처 등과 정보교류를 할 수 있는 두산 기술 네트워크를 적극 활용할 계획이다.<김기성>