4기가 D램용 감광제 실용화/현대전자

◎연3,000억원 수입대체효과 기대현대전자(대표 정몽헌)가 4기가D램급 반도체칩에 초미세회로를 형성할 수 있는 감광제를 개발, 세계 최초로 실용화하는데 성공했다.

감광제란 빛을 받은 부분이 화학적 변화를 일으켜 반도체회로를 웨이퍼상에 전사할 때 사용되는 감광성 고분자재료로 반도체공정의 성패를 좌우하는 핵심물질이다. 현대는 업체간 치열한 주도권쟁탈전을 벌이고 있는 이 재료를 개발하기 위해 지난 96년 10월부터 35억원을 들여 연구에 들어가 9개월만에 아르곤 플로라이드(ArF)란 새로운 감광제를 국산화했고 이를 실용화하는데도 성공했다고 21일 발표했다.

이 감광제는 1ℓ값이 3백만원을 웃도는 고부가가치제품으로 기존의 크립톤 플로라이드 감광제보다 5배나 비싸다. 이 제품은 0·13미크론(1미크론은 1백만분의1m)의 초미세회로를 형성, 손톱만한 크기에 신문지 1만6천장분량의 데이터를 저장할 수 있으며 4기가D램 제조에 필수적이다.

현대가 4기가D램용 아르곤 플로라이드 감광제를 개발함으로써 반도체 재료기술 자립과 함께 4기가D램 시장이 본격화되는 2006년 연간 3천억원 이상의 수입대체효과를 거둘 수 있을 것으로 예상된다.<김희중 기자>