[이달의 과학기술자상] 선정이유

국내 반도체기술 경쟁력 제고에 기여초고집적 반도체 소자와 고밀도 기록매체 등의 신소재를 개발하기 위해서는 원자 수준의 박막분석 및 제어기술이 필수적이다.

문대원 박사는 몇개 원자층 두께의 초박막에 들어 있는 원자 하나하나의 조성과 구조를 측정할 수 있는 분석기술을 개발, 우리나라의 기술수준을 세계 최고로 끌어올렸다.

문 박사가 개발한 '마이스(MEIS)'는 초박막 표면의 조성분석과 결정구조는 물론 결정이 얼마나 찌그러졌는지도 측정할 수 있다. 이 같은 장비는 마이스가 세계에서 유일하다.

문 박사는 최근 반도체 초고집적 메모리 소자의 핵심재료 가운데 하나인 '실리콘 산화 나노 절연막'의 두께와 조성 및 서로 다른 원자가 결합하는 부분(계면)의 변형과 응력을 규명하는 성과를 거두기도 했다.

이 같은 연구결과는 최근 국제학회에서 9회 초청강연했을 정도로 세계적으로 인정받고 있다. 문 박사는 또 이와 관련한 국제 연구논문 13편을 발표했으며 7편을 투고해놓고 있다.

문 박사는 특히 단순 기초연구에 머물지 않고 삼성전자와 하이닉스반도체 등 국내 산업체에 응용기술을 적용, 국내 반도체 기술 경쟁력을 끌어올렸다.

또 기술의 우수성을 인정받아 유럽의 필립스와 미국 일리노이대학 등 해외에서도 박막소재 분석요청이 잇따르고 있다.

또 일본ㆍ미국ㆍ네덜란드ㆍ호주 등 세계 여러 나라의 대학ㆍ연구소ㆍ기업에서 문 박사의 기술을 활용하고 있다. 문 박사는 이를 통해 국제 협력연구를 주도하고 국내 과학기술의 위상을 높였다.

◇심사위원

▦박승덕 전 한국표준과학연구원 원장(위원장) ▦구본국 삼성전자 기술총괄 고문 ▦권영한 한국전기연구원장 ▦김진동 서울경제신문 주필 ▦김충섭 한국화학연구원 원장 ▦남수우 한국과학기술원 재료공학과 교수

▦박영일 과학기술부 기획조정심의관 ▦박호군 한국과학기술연구원 원장 ▦손장열 한양대학교 건축공학과 교수 ▦이종기 LG화학기술연구원 원장 ▦이문기 연세대학교 전자공학과 교수 ▦이준승 이화여자대학교 생물학과 교수

▦정명세 ㈜덕인 회장 ▦정재명 서울대학교 수학과 교수 ▦채재우 인하대학교 기계공학과 교수