테스, 반도체 제조장치 특허 취득

테스는 반도체 제조용 샤워헤드 및 이 샤워헤드를 구비한 반도체 제조장치에 대한 특허를 취득했다고 23일 공시했다.

이번 특허의 주요 내용은 반도체 제조용 샤워헤드에 관한 것으로, 외부로부터 샤워헤드 내부로 공급된 공정가스에 와류가 발생되는 것이 방지되며 나아가 공정가스가 하방으로 균일하게 분사될 수 있도록 구조가 개선되는 이점이 있다고 회사측은 설명했다.

테스 관계자는 “특허기술 적용을 통한 기술 및 원가경쟁력 강화가 기대된다”고 덧붙였다.