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쎄크는 전량 수입에 의존하던 산업용 X-레이 검사장비를 끊임없는 핵심 기술 개발을 통해 국산화에 성공하며 업계 1위 자리를 고수하고 있다. 이 회사는 산업용 X-레이 검사장비·주사전자현미경(SEM) 등 검사·분석용 장비를 생산한다.
최근 쎄크는 주력 제품을 발판삼아 국내 최고의 전자빔 응용 검사장비 기업으로 발돋움하고 있다. 정부의 신성장동력 장비 경쟁력 강화사업의 일환으로 '전자빔을 이용한 In-Line PSS 패턴 검사장비 개발 과제'를 수행하며 고성능 전자빔 광학계 기술을 개발해낸 것이다.
쎄크가 개발한 이 기술은 PSS(Patterned Sapphire Substrate) 웨이퍼 패턴 검사 성능을 좌우할 수 있는 핵심 원천기술이다.
PSS공정은 고휘도 LED 생산에 사용된다. PSS기판은 보통 패턴의 사이즈가 2~3㎛ 정도로 작은 제품이 주류를 이루고 있어 측정·관찰시 2~5만 배 정도의 배율을 가지고 있는 장비를 필요로 한다. 이를 통해 인라인으로 전자빔 광학계 컬럼을 이용한 PSS의 형상과 LED의 광 추출 효율에 결정적인 영향을 미치는 패턴의 높이를 검출해 불량품을 선별할 수 있게 됐다.
자동으로 LED용 웨이퍼의 패터닝 형상을 검사한다는 새로운 개념의 기술이 적용된 신규 장비라는 점에서 의미가 있다. 또 본 과제를 통해 확보된 기술을 기반으로 고배율 탁상형 주사전자현미경(SNE4000시리즈)을 개발해 사업화에 성공하는 성과 또한 거뒀다. 현재 쎄크는 히다찌·JEOL·FEI사 등 동 분야 해외의 선도기업들과 경쟁에서도 어깨를 나란히 하며 경쟁력을 인정받고 있다.
김종현(사진) 대표는 "고성능 전자빔 광학계 기술은 측정 장비의 기초가 되는 기반기술로서 광범위하게 활용될 수 있는 기술 중 하나"라며 "우선 탁상형 주사 현미경 부문에서 기술 경쟁력을 강화해 400대 이상의 판매 실적을 달성했으며, 주사 현미경을 일반 광학현미경 수준으로 가격과 사용 편의성을 접근시켜 시장을 확대하는 전략을 구사할 예정"이라고 포부를 밝혔다.
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