반도체 면 저항 측정용 인증표준물질 6종 개발/한국표준과학연

한국표준과학연구원(원장 정명세)은 유광민박사팀이 최근 삼성전자와 공동으로 반도체를 생산하는데 필요한 면저항(단위 두께당 저항) 측정용 인증표준물질(CRM) 6종류 20개를 개발했다고 18일 발표했다.이 물질은 반도체 생산에 필요한 면저항 측정장비의 정확도를 교정하거나 이상유무를 점검하는 표준물질로 다양한 영역의 면저항값을 교정할 수 있으며 측정수준을 선진국과 비슷한 0.1%까지 높일 수 있을 것으로 기대되고 있다.

또 금속박막, 이온주입박막층, 규화물 등에 대해서도 인증이 가능하고 면저항값 외에도 안정도, 균일도, 온도계수, 탐침 접촉저항등의 값을 측정할 수 있다.

지금까지 국내 반도체 생산업체들은 미국 국립표준기술연구원(NIST)과 VLSI사의 인증표준물질을 수입해 사용했으나 수입품은 국내 생산라인에 사용되는 재료(웨이퍼 박막)보다 1/3∼1/2 정도 작아 정밀한 면저항 측정이 어려운 실정이었다.<김상연 기자>