엠아이 반도체, 반도체 칩 검사기 세계 최초 개발

엠아이반도체는 반도체 완제품 검사 및 이물질 제거장비인 디캐퍼(Decaper)를 전자동화한 ‘MIS 오토디캐퍼’를 세계 최초로 개발, 국내특허를 취득했다고 23일 밝혔다.

회사측에 따르면, MIS 오토디캐퍼는 외국산 반자동 디캐퍼와 달리 PC로 제어되는 자동화 로봇으로 신속ㆍ정확하게 각 공정을 수행한다. 또 인체에 치명적인 위험을 초래할 수 있는 황산ㆍ질산 증기가 장비 밖으로 새나가지 않도록 설계했고 사용량도 반자동 디캐퍼의 5분의 1 이하로 줄였다. 가격은 대당 1억원 안팎으로 반자동 제품의 2배 수준이지만 소모품비ㆍ유지보수비가 적게 든다.

신경욱 대표는 “미국ㆍ일본 업체들이 장악해온 국내시장에서 연간 200만 달러 안팎의 수입대체 효과를 달성하고 외국의 반도체장비 유통회사들로 딜러망을 구축, 해외시장 공략에 나설 계획”이라고 말했다. 세계 디캐퍼 시장은 연간 300억~500억원 규모로 추산된다.

엠아이반도체는 새 기술에 대해 3개 국내특허와 대만특허를 받았고 미국ㆍ일본 등에 특허출원 중이다. [phone]