주성, 최대크기 반도체장비 개발

LCD 및 반도체용 전공정 장치 업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)이 세계 최대 사이즈의 7세대 플라즈마 화학증착장치(PE-CVD)를 개발했다고 22일 밝혔다.

주성이 개발한 제품은 2,100 x2,300mm 급으로 7세대까지 대응 가능하며 외국 제품의 기판 크기가 1,800 x 2,200mm 인 것을 감안하면 적용범위가 넓은 것이 특징이다.

이 장치는 대응 면적이 6세대 기판의 1.8배 가까이 커지면서 나타날 수 있는 여러 문제를 해결하기 위해 기술과 생산성 측면에서 혁신적인 개선을 이루었다는 평가다.

7세대 이상의 대형 기판에서는 기존 플라즈마 기술로는 막 균일도 유지에 어려움이 있었는데 주성은 새로운 플라즈마 기술을 적용해 품질은 높이고 유지비용은 줄일 수 있는 제품을 개발했다.

종래 장치는 주기적으로 핵심부품을 교체해야 했지만 이 제품은 구조가 간단하고 수명이 반 영구적이다. 또 기판을 들어올리는 리프트 핀(Lift Pin)을 사용하지 않아 증착에 따른 물량률을 크게 낮추었고 핀에 의해 유리막이 깨어지는 것을 방지했다.

특히 생산성 면에서도 기존 설비보다 2 배 가량 개선된 시간당 100매를 처리할 수 있는 능력을 가지고 있다. 회사관계자는 "해외 경쟁사의 경우 1,800 x 2,200mm 기판을 시간당 60매 가량 생산하는 것에 불과하다"며 "이번 신제품 개발을 위해 1,000만달러 가량을 투입했으며 앞으로 7세대 시장 점유율을 70% 이상 확보할 수 있을 것"이라고 설명했다.

<서정명기자 [e-mail]>