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[브리핑] 단성일렉트론, 반도체 장비용 ESC 개발
입력2008-04-24 17:10:25
수정
2008.04.24 17:10:25
단성일렉트론은 반도체 장비용 ESC를 개발했다고 24일 밝혔다. ESC는 LCD와 반도체 공정에서 정전기를 이용해 기판과 전극 사이에 간격을 일정하게 유지하도록 하는 전극이다.
반도체 공정의 경우, 장비 내부에서 정전기를 이용해 반도체 웨이퍼와 하부전극 사이의 간격을 일정하게 유지하는 소모성 부품이다. 단성일렉트론은 앞으로 기술평가 등을 거쳐 2009년부터 본격적으로 양산에 들어갈 계획이다.
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