한국DNS, 반도체 세정장비 'K-WET 300' 2대 日수출

반도체 및 FPD(평판 디스플레이) 장비업체인 한국디엔에스는 자체 개발에 성공한 300㎜용 차세대 세정장비인 ‘K-WET 300’ 2대를 일본 후지쯔(비메모리 사업부)에 첫 해외 수출한다고 20일 밝혔다.

‘K-WET 300’은 반도체 제조과정에서 발생하는 웨이퍼 표면의 미립자, 감광액 등 불순물 제거에 사용되는 세정 건조장비다.

이번 수출은 세계 반도체 세정장비 시장에서 최고의 기술을 자랑하는 TEL(도쿄일렉트론), DNS, SES 등 일본 장비업체에서도 제작하기 힘든 프론트(Front) 타입 설계로 기술력을 인정받아 처음으로 성사된 역수출이란 점에서 주목받고 있다.