온사이트 약품장비 미서 도입/LG실트론

◎반도체정제 필수… 99년부터 본격 생산LG실트론(대표 이창세)이 반도체의 정제작업에 필수적인 온사이트약품장비를 도입한다.

LG실트론은 10일 미국의 에어리퀴드사와 반도체정제에 필수적인 온사이트약품공급시스템도입계약을 체결하고 오는 99년부터 본격적인 생산가동에 들어갈 예정이라고 밝혔다.

LG실트론은 오는 4월 에어리퀴드사로부터 암모니아수공급장치 1기와 2기의 과산화수소정제장치를 공급받아 구미공장에 설치하고 2차증설이 마무리되는 오는 99년부터 약품생산량을 연간 암모니아수 7백20톤과 과산화수소 1천2백톤을 생산, 정제해 공급할 계획이라고 덧붙였다.

온사이트약품제조·정제시스템은 반도체의 충전과정에서 유발되는 2차오염을 막을수 있어 표준화된 세계최고의 약품을 공급할 수 있다. 또 공업용 순도인 원료를 이온정제기를 통해 고순도로 정제한 뒤 이를 약품제조공정에 사용하고 현장에서 직접 생산, 정제해 공급함으로써 물류비용을 줄여 저렴한 가격으로 화학약품을 공급할 수 있다.

이와함께 드럼 또는 소형용기로 공급할 경우에 생기는 다량의 화학약품현장야적과 용기폐기처분을 없앨수 있어 환경친화력이 뛰어난 시스템으로 평가되고 있다.

한편 에어리퀴드코리아서비스는 이와 관련해 오는 6월까지 LG실트론에 연간 4백80톤의 29% 암모니아수와 7백20톤의 30% 과산화수소를 공급한다고 전했다.<김희중>