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테스, 반도체 제조용 챔버 특허 취득
입력2010-09-16 15:04:53
수정
2010.09.16 15:04:53
이재유 기자
테스는 반도체 제조용 챔버에 관한 특허를 취득했다고 16일 공시했다. 테스 관계자는 “이번 특허를 적용하면 반응공간부의 가스 및 전자파나 자외선 등의 유출이 차단되고 뷰포트를 막는 부품의 설치작업이 편해지고 내구성도 향상되는 장점이 있다”고 설명했다.
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