현대교정인증, 미세먼지입자 측정기 개발

제품시험인증 업체인 현대교정인증기술원(대표 이현희)이 한양대와 공동으로 미세먼지입자측정기 나노파티클카운터(NPCㆍ사진)를 개발했다고 18일 밝혔다.

이 제품은 반도체공정 중 클린룸 내 미세먼지입자를 측정, 모니터링하는 장비로 기존 입자측정기 보다 훨씬 미세한 입자를 5나노미터까지 감지할 수 있는 것이 특징이다.

또 먼지농도가 높은 대기환경 관련분야 측정장비로 응용할 수 있는 장점이 있다.

현대교정인증은 한양대학교 나노입자제어연구실(안강호 교수)과 산학협력을 통해 나노파티클카운터 국산화에 성공했다. 일차적으로 크기 선별장치를 통해 동일한 크기의 미세 먼지입자를 골라내면 이후에 입자계수장치가 그 개수를 세어 입자들의 크기분포를 측정하는 원리를 이용한 것이다.

회사측은 “이번 나노파티클카운터 개발로 수입대체 효과는 물론 나노팹 공정 적용으로 반도체 생산라인 관리에 획기적인 기술진보를 가져올 것으로 기대한다”고 설명했다. 현대교정인증은 오는 20일까지 코엑스에서 열리는 `2004 세미콘 코리아`에 이 제품을 선보인다.

<서정명기자 [e-mail]>