첨단반도체장비 직접 생산/디아이사

◎웨이퍼프로버 등 양산 매출 1,100억 전망반도체테스터장비 전문업체인 (주)디아이(대표 박원호)가 매출 증대를 위해 첨단 반도체 제조장비의 직접 생산비중을 크게 확대하고 있다. 15일 디아이는 일본 동경정밀과 기술제휴를 맺고 올해부터 반도체 제조공정 가운데 웨이퍼 칩의 성능검사를 할 수 있는 「웨이퍼 프로버(WAFER PROBER) 자동화장비」에 대한 직접 생산에 돌입했다고 밝혔다. 국내 반도체장비수요업체들은 그동안 이 장비를 전량 수입에 의존해 왔다. 이 회사는 지난해 생산준비과정을 거쳐 올해부터 연 2백50대의 생산능력을 갖추고 직접생산에 들어갔다고 설명했다. 디아이는 올해 국내 수요에 맞춰 1백대 정도를 생산할 계획이며, 웨이퍼프로버자동화장비 직접생산에 따른 수입대체효과는 연간 1백억원 이상에 달할 것으로 추정하고 있다. 디아이는 이와함께 연구개발 투자비를 크게 늘려 ▲올 하반기 액정표시장치(LCD)분야의 스크래치 테스터, 컬러 필터검사기, 메모리테스터장비 ▲내년 하반기 XRAY 스테파(STEPPER)의 직접 생산도 계획하고 있다. 디아이는 특히 XRAY 스테파 생산을 위해 지난해 미국의 반도체 장비 연구개발전문업체인 SAL사에 1백50만달러를 투자했다. XRAY 스테파는 1기가(G)급 반도체를 제조하기 위한 필수적 장비로 반도체 회로사이를 뜻하는 디자인 룰(Design Rule)이 0.18㎛ 이하인 초정밀 제품을 제조할 수 있다. 박원호사장은 이와관련, 『첨단 장비의 직접 생산으로 올해 매출이 지난해의 7백15억원보다 53.8%가 증가한 1천1백억원에 달할 것』이라고 말하고 오는 99년 2천억원을 목표로 하고 있다고 설명했다.<박동석>