SMEC는 지난 3월, 클린룸 환경에서 반도체 웨이퍼, LCD 글라스, 솔라셀 등이 적재되는 카세트를 이송하는 장비가 바닥에서 많은 공간을 차지한다는 점에 착안해 천장 부착식으로 공간 효율을 높인 “더블암식 3단 카세트 이송로봇”을 개발해 특허를 취득했다. 이번에 취득한 “관절 로봇형 수직 승강장치”는 기존 특허 기술을 추가 보완하는 기술이다.
기존에 개발된 더블암식 3단 카세트 로봇은 웨이퍼 등이 들어있는 카세트를 천장으로 들어올리기 위해 BEAM 형태를 적용했으나 이번 기술 개발로 LINK 형태로 변경 적용하게 되었다. 이에 따라 공간 활용도가 더욱 높아졌으며 기존 특허 기술이 더욱 보완 업그레이드 되었다.
회사 관계자는 “기존 기술의 업그레이드 및 보완 기술 역시 중요한 지적 재산”이라고 말하며 “로봇 분야의 다양한 기술 확보를 위해 앞으로 더욱 매진할 것”이라고 밝혔다.
< 저작권자 ⓒ 서울경제, 무단 전재 및 재배포 금지 >
