애경유화, 반도체ㆍLCD 세정물질 국산화

각종 유기물에 뛰어난 용해력을 갖고 있으면서 독성이 낮아 차세대 반도체 세정제로 사용되고 있는 기능성 화학물질인 `NMP(N-메틸피롤리돈)`가 국내서 개발됐다.

애경유화(대표 전기철, www.akp.co.kr)는 반도체나 TFT-LCD의 제조과정에서 세정제로 널리 사용되는 NMP를 국내에서 처음으로 개발하는데 성공했다고 29일 밝혔다.

애경유화는 국가중점연구개발사업의 일환으로 지난 98년부터 애경유화연구소와 한국화학연구원이 공동개발에 성공했다. NMP가 본격 생산에 돌입 할 경우 2005년에는 400억원에 달하는 수입대체 효과가 있을 것으로 기대하고 있다.

애경측은 이 제품이 기존과 다른 GBL(감마부티로락톤) 제조방식이라는 새로운 제조방식을 이용해 외국기업들에게 특허료를 제공할 필요가 없으며 나아가 기술을 제공하고 로열티를 받는 것도 기대하고 있다고 밝혔다.

차세대 반도체 세정제인 NMP는 D램이나 TFT-LCD와 같은 반도체나 전자부품의 생산공정에 반드시 사용되는 물질로서 특히 반도체 제조과정 중 포토레지스트(감광제 Photoresist)를 제거해 내는 세정력이 탁월한 소재다. 또 기존소재에 비해 생물학적인 분해가 빨라 유해 물질이 체내에 축적되지 않으며, 독성이 없는 특징을 갖고 있는 친환경적인 물질이다.

그 동안 반도체 세정과정 등에는 솔벤트나 프레온 같은 물질들이 널리 사용됐으나, 지난 95년에 국내 전자부품기업에서도 세정작업 근로자 30여명이 솔벤트에 중독되어 사회적으로 파문이 일으키기도 했다.

<온종훈기자 [e-mail]>