셀라이트, 반도체웨이퍼 자동 검사장비 개발

셀라이트(대표 홍성균·洪性均)은 최근 반도체 주재료인 웨이퍼의 주변모서리(EDGE)에 생긴 결함을 자동으로 판별해 주는 검사장비 「에지(EDGE)-2000」을 개발했다.충북대 전기전자공학부와 1년여간의 산학협동을 통해 개발된 이제품은 웨이퍼를 25장 묶음 형태의 카세트단위로 검사한다. 카세트 하나를 검사하는데 걸리는 시간은 약 300초정도로 웨이퍼 한장당 12초가량이 소요되는 셈이다. 육안으로 검사하는데 걸리는 시간이 장당 3~4분정도인 점을 감안하면 25배이상의 검사속도 향상을 가져올 수 있다. 특히 이장비는 각각의 웨이퍼 전부를 검사하는 전수검사방식을 채택해 제품에 대한 신뢰성을 높이고 있다. 지금까지 웨이퍼에 대한 검사는 검수원이 25장의 웨이퍼중 한두장을 꺼내 육안으로 검사하는 샘플링방식을 채택했었다.

또 스캐닝 시스템에 의해 저장된 데이터를 컴퓨터로 분석, 사람의 눈으로 검사할 수 없는 부분까지 검색하기 때문에 정밀검색이 가능하고 따라서 장비의 오염을 방지할 수 있다는 장점도 있다.

웨이퍼에 결함이 생기면 주변의 웨이퍼에까지 오염을 유발하고 이를 제거하기 위해 장기간 공정장치를 정지시켜야 하는 문제를 야기한다.

洪사장은 『현재 국내는 물론 대만, 미국등지에 특허를 출원한 상태며 올해 30대, 120만달러가량의 매출을 기대하고 있다』며 『반도체 용량이 커지고 열처리 공정이 확대되면서 웨이퍼검사장비에 대한 중요성이 높아지고 있다』고 설명했다. [phone]

송영규기자[e-mail]