반도체와 태양전지 장비업체인 테스는 이날 SK하이닉스와 55억원 규모의 반도체제조장비를 공급한다고 19일 밝혔다. 이는 지난해 매출액의 7%에 달하는 금액이다. 이로써 테스는 이달 들어서만 SK하이닉스에 107억원규모의 공급계약을 맺었다. 테스는 상반기 383억원규모의 수주를 포함해 올해 들어서만 이미 490억원규모의 수주를 달성했다.
이번에 SK하이닉스에 공급한 하이브리드시스템은 가스방식의 세정과 트리트먼트를 동시에 수행할 수 있는 복합장비로 공정미세화와 원가절감을 할 수 있는 특징이 있다. 테스는 이 기술을 세계최초로 개발해 지난 2월부터 양산에 나섰다.
테스 관계자는 “이번 개발된 하이브리드 시스템은 박막산화물을 효과적으로 제거하고 웨이퍼 표면에 생기는 유기물 오염 등을 없앨 수 있어 생산 효율성이 뛰어나다”며 “또 2개의 장비가 수행하던 공정을 하나의 장비가 할 수 있게 돼 공정시간단축과 설비투자감소로 원가절감도 가능하다”고 설명했다.
테스는 하이브리드 시스템 공급행진으로 올해 실적이 개선될 것으로 기대하고 있다.
테스측은 “상반기에 대규모 수주를 보이며 실적이 오르고 있다”며 “올해는 지난해 매출액 700억원을 웃도는 실적을 보일 것”이라고 말했다.
/구경우 기자 bluesquare@sed.co.kr
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