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현대전자 차용 가속도센서 개발/에어백 핵심부품

◎고장 진단·오동작방지 기능 갖춰현대전자(회장 정몽헌)가 국내처음으로 자동차에어백시스템의 핵심부품인 반도체 가속도센서를 개발했다. 현대는 12일 한국과학기술원, 현대자동차와 공동으로 지난 5월부터 1억여원을 투자, 압저항감지센서를 개발했다고 밝혔다. 이 센서는 자동차가 충돌할 경우 생기는 가속도를 감지한 뒤 충격량을 전압으로 전환해 그 값이 기준량을 초과하면 에어백이 터지도록 한다. 현대는 이 센서를 개발하기 위해 웨이퍼상에서 충돌감지센서를 가공할 때 요구되는 보호막 및 초미세절삭기술, 웨이퍼접합을 이용한 입체구조가공기술 등 3가지 독자적인 공정을 개발, 제조비용을 획기적으로 절감했으며 절삭과 동시에 가공을 마치는 일괄제조공정을 개발해 생산성도 높였다고 밝혔다. 이 가속도센서는 중력가속도당 직접출력전압이 0.3mV로 매우 높은 감지도를 가지고 있으며 고장유무를 판단하는 자기진단기능과 차량이 덜컹거릴 때 오동작을 방지하는 횡감도억제구조도 갖추고 있다고 현대는 설명했다. 이 제품은 선진국들이 기술이전을 기피하고 있는 마이크로머시닝이라는 첨단미세가공기술을 국내기술진이 단기간에 국산화했다는 점에서 높이 평가되고 있으며 제조비용도 다른 제품에 비해 크게 줄일 수 있게 됐다. 현대는 6인치 실리콘웨이퍼 한 장으로 이 센서를 5천개이상 생산할 수 있다며 내년부터 양산에 착수할 계획이라고 밝혔다.<김희중>

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