삼성, 반도체 공정오류 실시간 점검기술 개발

삼성전자가 반도체 생산공정의 오류를 실시간으로 점검해 이를 바로잡을 수 있는 기술을 개발했다.

14일 업계에 따르면 삼성전자는 13∼15일 미국 새너제이에서 열리고 있는 세계최대의 반도체 생산관련 심포지엄인 `ISSM(International Symposium on Semiconductor Manufacturing)'에서 이같은 내용의 논문 2편을 발표했다.

삼성전자 반도체총괄 공정개발팀의 김용진 수석연구원은 이번 회의에서 `D램 게인트 CD제어에서의 실시간 공정 모니터링'이라는 논문을 통해 반도체 생산공정의 이상 여부를 실시간으로 점검하는 방법을 선보였다.

또 같은 팀의 백계현 책임연구원도 `실시간 플라스마 모니터링을 통한 컨디셔닝공정 최적화 방법'이라는 논문을 발표했다.

이들 논문이 담고 있는 기술은 반도체 생산공정에서 실시간으로 장비의 이상 유무를 점검하거나 다양한 방법으로 설비의 생산조건을 분석해 최적의 상태를 신속히결정, 유지할 수 있도록 하는 내용이다.

반도체 생산공정은 온도와 먼지, 장비의 상태 등 미세한 조건에 따라 제품의 품질이 좌우되는 특성이 있어 공정의 상태가 수율(양품률) 및 생산성 향상에 결정적인 영향을 미친다.

삼성전자는 이번 연구결과가 각 생산라인의 설비를 통해 양산중인 웨이퍼 모니터링에 바로 적용할 수 있어 생산성 향상에 큰 도움이 될 것이라고 기대했다.

(서울=연합뉴스) 김지훈 기자