반도체웨이퍼 이적재 로봇 개발/삼성전자

◎수입품보다 값 30% 싸고 성능은 탁월삼성전자(대표 윤종룡)는 13일 반도체 웨이퍼카세트를 자동으로 옮기거나 실어나를 수 있는 로봇을 자체기술로 국산화했다고 발표했다.

삼성이 지난 2년동안 20명의 연구인력과 10억원의 개발비를 들여 국산화한 이 장비는 수입품에 비해 가격은 30% 싸지만 성능은 더 뛰어나 국내반도체장비시장에서 수입품을 몰아낼 것으로 기대되고 있다.

김성권 생산기술센터장은 『이 장비는 1입방피트의 공간에 1백만분의 1크기의 먼지입자가 1개정도밖에 들어가지 않는 고청정설계 및 제작기술을 바탕으로 6축로봇이 웨이퍼카세트를 정밀하게 옮겨실을 수 있으며 중앙제어장치로부터 반송명령을 무선으로 받아 작업을 제어하는 운성제어기 등으로 구성돼 있다.』고 설명했다.

그는 또 『이 장비는 로봇전방에 부착된 카메라를 통해 웨이퍼를 정확하게 인식하는 위치보정기술과 고속충전에 의한 24시간 운전기능 및 시스템통합기술 등 기존 로봇자동화기술들이 집약된 제품이다』고 덧붙였다.

삼성은 현재 대당 2억원 정도에 들여오고 있는 수입품에 비해 가격이 30%이상 낮아 연간 5백억원 정도의 수입대체효과를 거두게 됐다.

삼성은 내년까지 웨이퍼반송 로봇 1백대 이상을 자사의 반도체생산 현장에 우선투입하고 앞으로 12인치웨이퍼에 대응하는 제품 및 LCD(액정화면)용 자동반송로봇도 개발할 계획이다.<김희중 기자>