일 12인치 실리콘 웨이퍼 시대로

◎1기가 메모리 생산대비 설비교체 추진【동경=외신 종합】 일본의 반도체업체들이 12인치(3백㎜) 대용량 실리콘 웨이퍼시대로 들어서고 있다.

6일 니혼게이자이(일본경제)신문에 따르면 미쓰비시전기·NEC·후지쓰 등 일본 대형업체들이 1기가 비트급 대용량 메모리 생산에 대비해 실리콘웨이퍼를 대형으로 교체하고 있다.

미쓰비시전기는 올해 착공하는 고치(고지)공장에 12인치 실리콘웨이퍼 설비를 갖추기로 했으며 NEC와 후지쓰는 내년에 이를 위한 연구설비와 시제품 라인을 도입하기로 결정했다.

NEC의 경우 내년 4월까지 연구개발을 완료하고 12인치에 맞는 제조장치를 도입, 오는 99년부터 양산체제를 갖출 계획인 것으로 전해졌다.

후지쓰도 이에 적합한 제조장치를 도입한 후 늦어도 99년 상반기에 대규모 집적회로(LSI)에 12인치 웨이퍼를 사용할 계획이다.