LG디스플레이·연세대 산학협력 논문 ‘네이처’ 자매지 게재

기존 디스플레이 장비로 초미세 패턴 구현 기술

LG디스플레이는 산학협력 차원에서 지원한 연세대학교 심우영(사진) 교수 연구팀의 연구 결과가 세계적인 과학저널 ‘네이처 커뮤니케이션즈’ 최신호에 게재됐다고 13일 밝혔다. 3년에 걸친 연구기간 동안 총 25명의 연구원들이 참여해 일궈낸 성과다.

이번 논문은 유연하고 투명한 타입의 새로운 포토마스크(투명기판)를 이용해 기존의 포토마스크로는 불가능했던 크기의 초미세 패턴을 구현하는 포토리소그래피 기술 개발에 관한 것이다. 이 기술은 액정표시장치(LCD) 뿐만 아니라 유기발광다이오드(OLED)에도 적용할 수 있다. 포토리소그래피는 반도체·디스플레이 제조 공정에서 웨이퍼나 글래스 위에 포토레지스트(감광액)를 얇게 바른 뒤 원하는 마스크 패턴을 올려놓고 빛을 가해 회로를 형성하는 것이다.



연구팀은 딱딱한 형태인 기존 포토마스크의 한계를 극복하기 위해 유연하고 투명한 타입의 새로운 마스크와 이를 사용하는 공정을 개발했다. 이에 따라 기존의 디스플레이용 노광장비로도 현재 만들 수 있는 크기의 100분의1 수준에 해당하는 수십 나노미터의 초미세 패턴을 구현할 수 있게 했다. 초미세 패턴으로 만드는 전자회로는 고해상도 구현에 필수적이다. 또 유연한 재질의 마스크는 휘어진 기판에도 적용 가능해 다양한 형태의 디스플레이에 적용할 수 있다. 심 교수는 “이번 연구 결과는 평면뿐만 아니라 곡면 기판에도 적용이 가능해 향후 다양한 형태의 디스플레이 소자 공정에 적용할 수 있을 것으로 기대된다”고 설명했다.

LG디스플레이는 지난 2015년부터 디스플레이 산업 발전을 위한 산학 프로그램인 ‘LG디스플레이·연세대 인큐베이션 프로그램’을 운영해오고 있다. 기업과 대학이 함께 디스플레이 기반 기술 및 제품들에 대한 아이디어를 모으고 산업화 관점에서 실현될 수 있도록 기획하고 연구·검증하는 프로그램이다. /이재용기자 [e-mail]