자율주행차의 눈 '라이다' 저렴하게 제작 성공

연세대·DGIST 연구팀 "비싼 화합물 반도체 센서를 저렴한 실리콘 소재로 대체"

자율 주행 자동차용 실리콘 기반 라이다 센서. /사진=안종현 교수

국내 연구진이 자율주행차용 ‘라이다’(Lidar) 센서를 저렴한 실리콘 소재로 제작하는 데 성공, 자율차 대중화에 기여할 것으로 기대된다.

한국연구재단(이사장 노정혜)은 30일 안종현 연세대 교수와 이재동 대구경북과학기술원(DGIST) 교수 공동 연구팀이 세계 최초로 단파 적외선을 감지할 수 있는 실리콘 광센서를 개발했다고 밝혔다.

라이다는 레이저로 주변을 인식하고 측정하는 센서로 자율주행 자동차의 ‘눈’으로 불린다. 그동안 단파 적외선을 감지할 수 있는 인듐갈륨비소(InGaAs) 화합물을 활용한 반도체가 라이다 센서 소재로 활발히 연구돼 왔지만 비용이 많이 드는 한계로 지적된다. 실리콘 반도체는 단파 적외선을 감지하기 어려워 지금까지 라이다 센서 소재로 적용되지 못했다.



공동 연구팀은 10㎚(나노미터·1㎚는 100만분의 1㎜) 두께 이하의 초박막 실리콘을 만든 뒤 실리콘의 전자 구조를 변화시켜 단파 적외선을 감지할 수 있는 광센서를 개발했다. 딱딱해 깨지기 쉬운 실리콘 웨이퍼를 초박막 상태로 만들어 높은 압력에도 부서지지 않도록 해 전자 구조를 변형시키는 데 성공했다.

안종현 교수는 “라이다 센서를 저렴하게 제작하면 자율주행차 대중화에 기여하게 되는 것”이라고 설명했다. 이번 연구 성과는 국제 학술지 ‘사이언스 어드밴시스’에 게재됐다. /고광본 선임기자 [e-mail]