문승욱 산업통상자원부 장관이 18일 네덜란드 반도체 장비기업 ASML의 피터 베닝크 최고경영자(CEO)를 만나 대규모 투자에 대한 사의와 함께 국내 소재·부품기업들과의 협업을 통한 공급망 안정에 힘써달라고 당부했다. ASML은 반도체 미세공정에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비 시장을 독점하는 기업으로 반도체업계의 ‘슈퍼 을’로도 불린다.
문 장관은 이날 경기도 화성의 ASML코리아 본사에서 베닝크 CEO와 면담한 자리에서 “이번 투자를 통한 ASML과의 협력 강화로 첨단 반도체를 제조하는 우리 기업들의 경쟁력 강화가 기대된다”며 “국내 소재·부품·장비 기업들과의 협업 확대를 통해 첨단 장비 관련 소재·부품의 공급 안정성 강화에 힘써달라”고 강조했다.
앞서 ASML은 지난 5월 산업부와 투자협약을 체결하고 2025년까지 2,400억원을 투자해 경기도 화성에 EUV 및 심자외선(DUV) 노광 장비 엔지니어를 위한 트레이닝센터와 재제조 센터 등이 있는 첨단 클러스터를 조성하기로 했다. 이후 산업부와 경기도, 화성시 간의 협업을 통해 동탄 일반산업단지 부지를 매입하기로 결정했다. ASML코리아는 동탄2신도시 도시지원시설 용지 1만6,000㎡ 부지에 1,500명 수용이 가능한 사무공간과 DUV·EUV 트레이닝센터, 재제조 센터 등을 짓고 인재양성과 소재·부품·장비의 국산화를 지원할 방침이다. 또 체험센터도 건립해 지역 학생을 대상으로 한 과학캠프도 운영할 예정이다.
베닝크 CEO는 “한국은 1996년부터 고객과 함께 해온 ASML에 매우 중요한 시장”이라며 “한국 정부가 보여준 협조에 감사하며 앞으로도 이 관계를 이어나가며 한국 반도체 산업 발전에 기여할 수 있기를 바란다”고 화답했다. 두 사람은 최근 반도체 업황과 기술 동향, 글로벌 반도체 공급망 이슈, ASML의 신규 투자와 관련한 국내 기업과의 협력 강화 방안 등에 대해서도 논의했다.
이날 면담 이후 문 장관과 서철모 화성시장, 오병권 경기도 도지사 권한대행 제1행정부지사, 이원욱 더불어민주당 의원, 이창한 반도체협회 부회장 등이 참석한 가운데 ‘ASML 화성 반도체 클러스터 조성’을 위한 업무 협약식이 열렸다. 문 장관은 축사에서 “향후 투자 진행 과정에서의 애로사항 해소도 산업부와 경기도, 화성시가 협력해 적극 지원하겠다”고 약속했다.
한편 ASML은 전 세계에서 유일하게 5나노 이하의 노광 공정이 가능한 EUV 장비를 생산하는 기업이다. 세계 1·2위 반도체 파운드리(위탁생산)업체 TSMC와 삼성전자(005930)가 7나노 이하의 반도체를 양산할 수 있는 것도 ASML 장비 덕분에 가능하다. 세계 반도체 패권경쟁에서 EUV 장비를 누가 먼저, 더 많이 확보하느냐에 따라 승자가 결정된다는 말이 나오는 이유이기도 하다. 이재용 삼성전자 부회장도 지난해 10월 코로나19 사태 속에서도 ASML의 네덜란드 본사를 찾아 EUV 장비 공급 확대 등을 요청한 것으로 알려지기도 했다.
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