AI가 반도체 공정 예측…SK하이닉스, 판옵테스 VM 도입

센서 데이터로 제조 공정 결과 예측

박막 증착 과정 도입 후 수율 향상 등 성과

SK하이닉스와 가우스랩스 관계자들이 판옵테스 VM의 개발 방향에 대해 논의하고 있다. 사진=SK하이닉스 뉴스룸 캡처

SK하이닉스(000660) 재무분석차트영역상세보기가 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해 생산 운영 효율을 확보하고 수율을 개선하고 있다고 10일 밝혔다.

SK하이닉스에 따르면 이 회사는 지난해 12월부터 가상 계측 AI 솔루션 ‘판옵테스 VM’를 양산 팹(반도체 생산 공장)에 도입해 사용하고 있다.

판옵테스 VM은 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다. 지난해 11월 SK하이닉스가 투자한 산업 AI 전문 스타트업 ‘가우스랩스’가 출시했다. ‘판옵테스’라는 이름은 눈이 백 개 달린 그리스 신화 속 동명의 거인 이름에서 따왔다. 제조 공정 중 벌어지는 모든 일을 모니터링 한다는 의미다.



판옵테스 VM은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 박막 증착 공정에 우선 도입됐다. 박막의 두께와 굴절률은 반도체 품질과 직결되지만 미세한 박막에서 이를 계측하기는 매우 힘들다. SK하이닉스는 이 솔루션을 도입한 후 공정 산포(공정에서 생산된 제품들의 품질 변동 크기) 평균 21.5% 개선, 수율 향상 등 효과를 거뒀다.

SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 이 솔루션을 확대 적용하는 방안을 검토하고 있다.

김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 “가우스랩스와의 협력을 통해 한층 지능화된 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다”며 “반도체 개발·생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것”이라고 밝혔다.