네덜란드 정부가 중국에 심자외선(DUV) 노광장비 수출을 제한하겠다는 뜻을 공식화했다. 반도체 분야에서 중국을 견제하는 미국과 일본의 공조에 네덜란드도 본격 동참한 셈이다.
8일(현지 시간) 로이터통신에 따르면 리셰 스레이네마허르 네덜란드 대외무역·개발협력부 장관은 이날 의회에 제출한 보고서에서 “특정 반도체 생산 장비에 대한 기존 수출 통제 규정을 확장할 필요가 있다”며 “관련 규제를 여름 전에 도입하겠다”고 밝혔다. 스레이네마허르 장관은 중국이나 자국 업체인 ASML을 직접적으로 언급하지는 않았지만 “DUV 노광장비 기술이 영향을 받을 것”이라고 직접 명시했다. 또 “국제·국내 안보적 필요성으로 이 기술을 최대한 신속하게 감독하는 것이 필요하다”며 “향후 국가 차원의 통제 리스트를 발표할 것”이라고 덧붙였다.
ASML은 강력한 레이저로 반도체 전기회로망을 만드는 노광장비 시스템 시장을 독점하고 있다. 네덜란드 정부는 2019년부터 ASML이 중국에 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비를 수출하는 것을 금지했지만 이전 세대인 DUV 노광장비에 대해서는 수출을 허용해왔다. 이날 발표는 결국 DUV 노광장비 수출도 제한하겠다는 뜻으로 풀이된다.
스레이네마허르 장관은 “네덜란드 정부는 가치사슬의 불필요한 붕괴를 피하기 위해 최대한 신중하고 정교하게 이번 조치를 결정했다”며 “기업들이 무엇에 직면하고 있는지를 인지하고 새로운 규정에 적응할 시간이 필요하다”고 덧붙였다. ASML은 이날 스레이네마허르 장관 서한에 대한 로이터의 질의에 “최첨단 DUV 장비 부문 수출을 위해 정부에 허가를 신청해야 할 것으로 보인다”면서도 “이것이 2023년 재무 지침에 영향을 미치지는 않을 것”이라고 답변했다. 이와 관련해 앞서 ASML은 올해 전체 매출액이 25%가량 성장할 것으로 내다보면서도 대중국 매출 규모는 22억 달러(약 2조 9000억 원) 정도로 전년과 비교해 제자리걸음을 할 것으로 전망한 바 있다고 로이터는 전했다.
로이터는 ASML의 최대 고객사인 삼성전자와 SK하이닉스가 모두 중국 내에 상당한 생산 설비를 갖추고 있다고도 지적했다. 또 “ASML은 2014년 이후 중국에 80억 유로어치의 DUV 노광장비를 판매했는데 이에 대한 장비 수리 등의 서비스는 계속할수 있는 것인지 의문은 남아 있다”고 전했다. 앞서 미국 정부는 네덜란드와 일본으로부터 미국의 반도체 장비 수출 통제에 동참한다는 약속을 받았다. ASML은 최근 중국 법인의 전 직원이 노광장비 시스템과 관련된 세부 기술 데이터를 훔친 사실을 확인하기도 했다. 로이터는 “일본은 이르면 이번 주 내로 반도체 장비 수출 정책에 대한 새 조치를 발표할 것으로 보인다”고 설명했다.
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