[서울경제TV=김혜영기자]반도체 장비 전문기업 예스티(122640)는 경쟁사가 제기한 고압 어닐링 장비 관련 특허분쟁에 적극 대응하겠다고 8일 밝혔다. 최근 국내 한 반도체 장비기업은 예스티가 개발 중인 고압 어닐링 장비가 자사 특허를 침해했다며 특허소송을 제기했다.
예스티 관계자는 “고압 어닐링 장비 개발단계부터 이런 분쟁을 예상하고 특허와 관련해 다수의 특허법인 및 법무법인과 다각적인 기술적·법률적 검토를 마친 상태”라며 “경쟁사 특허침해 주장은 근거가 없기 때문에 이번 특허소송에 적극 대응하겠다”고 말했다.
예스티는 자체 고온·고압 제어기술을 이용해 2021년부터 고압 어닐링 장비를 개발해왔다. 예스티는 개발과정에서 압력 챔버에 관한 특허 등 여러 건의 특허를 출원했다. 올해 4월에는 차세대 고압 어닐링 장비 개발 국책과제에 단독 선정돼 관련 기술의 고도화를 추진하고 있다. /hyk@seadaily.com
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