세메스, 반도체 포토공정용 ArF-i 스피너 양산…"차세대 장비 국산화"

日 TEL 독점분야 진출

자동화 시스템 개발해 적용

"수입 대체 효과 클 것"

세메스의 불화아르곤이머전 스피너 장비 사진. 사진제공=세메스

반도체 장비업체인 세메스는 그동안 전량 수입에 의존해 온 반도체 포토공정용 트랙장비인 불화아르곤이머전(ArF-i) 스피너 2호기를 본격적으로 양산한다고 24일 밝혔다.

스피너는 반도체 제조공정에서 웨이퍼에 미세회로(패턴)를 형성하기 위해 감광액을 골고루 도포하고 노광기에서 빛을 조사한 후에 다시 현상하는 설비다. 세메스는 이 장비를 국내 최초로 개발해 지난해 1호기를 양산해 출하했다.



이 장비는 현재 일본의 최대 반도체 장비업체인 도쿄일렉트론(TEL)이 시장점유율 90% 이상을 차지하고 사실상 독점하고 있는 분야다. 세메스는 그동안 불화크립톤(KrF) 스피너를 주로 생산하다 광원의 파장 선폭이 짧아진 고성능 노광기에 대응하기 위해 불화아르곤이머전 장비를 개발했다. 회사 관계자는 “불화아르곤 이머전 장비는 고청정, 고생산성, 고정밀도가 요구되는 설비”라며 “코팅, 현상프로세스 유닛의 조정편차를 없애기 위해 로봇의 위치조정, 베이크 온도셋팅, 노즐조정 등의 자동화시스템을 개발해 적용했다”고 설명했다.

최길현 세메스 CTO는“반도체 핵심공정 장비인 오메가 프라임의 개발로 향후 수입대체 효과가 클 것으로 예상한다”며 “앞으로 고부가가치 중심의 독보적이고 차별화된 장비를 선보여 기술혁신 기업으로 거듭나겠다”고 말했다.