세메스, OHT 설비 1만 호기 출하…"내년 신규 장비 출시"

2011년 국산화 성공

물류자동화 설비 다변화

세메스 임직원들이 29일 삼성전자 화성사업장에서 개최된 OHT 1만 호기 출하를 축하하고 있다. 사진제공=세메스

세메스(대표 정태경)는 국내 최초로 독자 개발한 OHT 장비를 1만 호기 양산하고 출하 기념식을 개최했다고 29일 밝혔다.

OHT는 반도체 라인의 천장에 설치된 고정 레일을 따라 웨이퍼가 담긴 통(FOUP)을 각 공정 장비로 옮기는 이송 시스템이다.

이 장비는 국내 칩 제조사들이 일본 회사에서 전량 수입해온 기기였다. 그러나 2011년부터 세메스가 국산화하면서 연간 수천억 원의 수입 대체 효과를 보고 있다.



세메스는 내년 상반기에 새로운 OHT 장비를 선보인다. 초당 직선으로 5m, 곡선에서 1m를 조용하게 먼지 없이 움직이는 게 특징이다. 그러면서 이송 하중은 늘려 반송 효율을 30% 이상 향상시켰다.

정태경 세메스 대표는“OHT를 반도체 라인에 설치하려면 공정흐름 전반의 정보와 개별 설비 상태를 실시간으로 관리하며 최적의 생산시스템이 되도록 하는 것이 핵심이며, 이를 독자기술로 확보해 1 만호기까지 실적을 쌓았다"고 말했다.

현재 세메스는 OHT 외에도 고층 타워 리프트, 모바일 로봇 등으로 물류자동화 설비 제품군을 다변화하고 있다.