세메스, 파운드리용 고온 매엽인산 세정장비 '블루아이스 프라임' 개발

기존 배치타입 대비

공정 결함 90% 감소

세메스의 ‘블루아이스 프라임’. 사진제공=세메스

세메스가 반도체 파운드리(위탁생산) 라인에 활용되는 고온 매엽인산 세정장비인 '블루아이스 프라임'을 개발했다고 22일 밝혔다.

이 장비는 여러 웨이퍼를 한번에 세정하는 ‘배치 타입’ 장비용 인산 약액보다 온도가 높은 인산을 쓴다. 불순물을 더 깔끔하게 제거할 수 있다.



또한 회사는 자체 개발한 척(Chuck)을 설비 안에 장착했다. 웨이퍼를 고온으로 달궈서 웨이퍼 중앙과 가장자리의 온도를 균일하게 만들고, 기존 배치타입 방식의 한계로 지적됐던 공정 결함 발생을 90% 이상 감소시켰다.

김경현 세메스 부사장은 “이번 장비 개발로 파운드리 선단 공정의 핵심 인자인 산포와 불량률을 획기적으로 개선해 수요업체의 전력·성능·크기·비용·시간(PPACT) 확보에 기여할 것으로 예상한다”고 말했다.